基本信息

南方基地依托單位為中科院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所。

北方基地依托單位為中科院電子學(xué)研究所。

四個專業(yè)點(diǎn)分別是光傳感器專業(yè)點(diǎn)（設(shè)在中科院上海技術(shù)物理研究所）、厚膜傳感器專業(yè)點(diǎn)（設(shè)在中科院合肥智能機(jī)械研究所）、氣敏傳感器專業(yè)點(diǎn)（設(shè)在中科院半導(dǎo)體研究所）、生物傳感器專業(yè)點(diǎn)（設(shè)在中科院微生物研究所）。

實(shí)驗(yàn)室已通過1993、1997、2002年三次評估。

2011年11月1日[1]，科技部根據(jù)《國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室建設(shè)與運(yùn)行管理辦法》和《國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室評估規(guī)則》的精神，2012年將對信息領(lǐng)域的國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室，“傳感技術(shù)國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室（中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所、中國科學(xué)院電子學(xué)研究所）”進(jìn)行評估，2012年信息領(lǐng)域國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室評估的具體工作委托國家自然科學(xué)基金委員會承擔(dān)。

北方基地

1. 領(lǐng)域總體介紹

傳感技術(shù)國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室（北方基地）[2]成立于1987年。實(shí)驗(yàn)室面向國家戰(zhàn)略需求和世界科技前沿，以基于微電子和微機(jī)械加工技術(shù)的微傳感器和系統(tǒng)作為主要研究方向，開展基礎(chǔ)性、戰(zhàn)略性、前瞻性的研究工作。實(shí)驗(yàn)室致力于提高我國傳感技術(shù)的自主創(chuàng)新能力和國際競爭力，推動我國傳感技術(shù)的應(yīng)用和產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，為國民經(jīng)濟(jì)建設(shè)服務(wù)，并建設(shè)我國傳感技術(shù)的研究基地和高素質(zhì)、高水平傳感技術(shù)人才的培養(yǎng)基地。

傳感技術(shù)國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室（北方基地）側(cè)重進(jìn)行傳感器的新原理、新方法、新技術(shù)、新器件、新系統(tǒng)的研究，實(shí)現(xiàn)傳感器的微型化、集成化、智能化和網(wǎng)絡(luò)化。實(shí)驗(yàn)室自建立以來得到了迅速發(fā)展。先后承擔(dān)和完成了“973”、“863”、國家自然科學(xué)基金、國家科技攻關(guān)等一批國家級科研項(xiàng)目，在新型傳感器和微系統(tǒng)研究領(lǐng)域取得了一批有特色、高水平的創(chuàng)新性研究成果。

2. 主要技術(shù)優(yōu)勢

傳感技術(shù)國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室（北方基地）經(jīng)過二十余年的建設(shè)和奮斗，在微納傳感器及微系統(tǒng)的研究中獲得巨大進(jìn)展，取得了突出成績，逐步形成了以基于微納加工技術(shù)的微傳感器和微系統(tǒng)為主要創(chuàng)新方向的研究特點(diǎn)，具有電子學(xué)、信息技術(shù)、生物技術(shù)、化學(xué)、材料科學(xué)等多學(xué)科交叉的綜合優(yōu)勢，并已成為國內(nèi)外廣泛認(rèn)可、具有一定國際影響力和較強(qiáng)競爭力的傳感技術(shù)研究基地，同時形成了具有一流人才與完整學(xué)術(shù)梯隊(duì)以及先進(jìn)儀器設(shè)備與科研條件的國家級研究基地。

實(shí)驗(yàn)室現(xiàn)有面積3500多平方米，其中500平米超凈間，擁有一條完整的微電子機(jī)械系統(tǒng)（MEMS）加工工藝線，具有先進(jìn)的工藝和測試設(shè)備，形成了一整套加工工藝規(guī)范，具備各種微結(jié)構(gòu)器件的加工能力。實(shí)驗(yàn)室已研制出一批具有特色的高水平傳感器及系統(tǒng)，如電場傳感器及系統(tǒng)、SPR生化分析儀、生物傳感器及系統(tǒng)、氣體傳感器及系統(tǒng)、微流控芯片系統(tǒng)、集成氣象傳感器、高精度壓力傳感器、微慣性傳感器等，具有雄厚的研究基礎(chǔ)和很強(qiáng)的技術(shù)攻關(guān)與自主創(chuàng)新能力。

3. 主要的科研工作

（1）微電子機(jī)械系統(tǒng)（MEMS）加工與封裝技術(shù)

（2）實(shí)驗(yàn)室芯片（Lab-on-Chip）與微全分析系統(tǒng)（μTAS）

（3）生物微傳感器集成化芯片系統(tǒng)（SOC）

（4）多參數(shù)血液檢測微系統(tǒng)

（5）表面等離子體諧振（SPR）生化分析儀

（6）危化品檢測氣體傳感器

（7）污染監(jiān)測生化微傳感器

（8）便攜式離子遷移率譜儀（IMS）

（9）電場傳感器

（10）高精度壓力傳感器

（11）微型加速度傳感器和陀螺儀

（12）溫濕壓集成氣象傳感器

（13）新型集成光學(xué)傳感器

（14）無線傳感器網(wǎng)