半導氣體傳感器
這種類型的傳感器在氣體傳感器中約占60%,根據(jù)其機理分為電導型和非電導型,電導型中又分為表面型和容積控制型。
(1) SnO2半導體是典型的表面型氣敏元件,其傳感原理是SnO為n 型半導體材料。當施加電壓時,半導體材科溫度升高,被吸附的氧接受了半導體中的電子形成了O或O原性氣體H、CO、CH存在時,使半導體表面電阻下降,電導上升,電導變化與氣體濃度成比倒。NiO為p型半導體,氧化性氣體使電導下降,對O敏感。ZnO半導體傳感器也屬于此種類型。 a. 電導型的傳感器元件分為表面敏感型和容積控制型,表面敏感型傳感材料為SnO+Pd 、ZnO十Pt 、AgO、V 、金屬酞青、Pt —SnO。表面敏感型氣體傳感器可檢測氣體為各種可燃性氣體CO、NO、氟利昂。傳感材料Pt —SnO2 的氣體傳感器可檢測氣體為可燃性氣體CO、H、CH。 b. 容積控制型傳感材料為FeO和TiO、CO-MgO —SnO體傳感器可檢測氣體為各種可燃性氣體CO、NO、氟利昂,傳感材料Pt —SnO。 容積控制型半導體氣體傳感器可檢測氣體為液化石油氣、酒精、空燃比控制、燃燒爐氣尾氣。 (2)容積控制型的是晶格缺陷變化導致電導率變化,電導變化與氣體濃度成比例關系。 FeO、TiO屬于此種,對可燃性氣體敏感。
(3)熱線性傳感器,是利用熱導率變化的半導體傳感器,又稱熱線性半導體傳感器,是在Pt 絲線圈上涂敷SnO層,Pt絲除起加熱作用外,還有檢測溫度變化的功能。施加電壓半導體變熱,表面吸氧,使自由電子濃度下降,可燃性氣體存在時,由于燃燒耗掉氧自由電子濃度增大,導熱率隨自由電子濃度增加而增大,散熱率相應增高,使Pt 絲溫度下降,阻值減小,P t絲阻值變化與氣體濃度為線性關系。 這種傳感器體積小、穩(wěn)定、抗毒,可檢測低濃度氣體,在可燃氣體檢測中有重要作用。 (4)非電導型的FET場效應晶體管氣體傳感器,Pd —FET.場效應晶體管傳感器,利用Pd 吸收H z 并擴散達到半導體Si 和Pd的界面,減少Pd 的功函,這種對H、CO敏感。非電導型FET場效應晶體管氣體傳感器體積小,便于集成化,多功能,是具有發(fā)展前途的氣體傳感器。
固體電解質(zhì)氣體傳感器
這種傳感器元件為離子對固體電解質(zhì)隔膜傳導,稱為電化學池,分為陽離子傳導和陰離子傳導,是選擇性強的傳感器,研究較多達到實用化的是氧化鋯固體電解質(zhì)傳感器,其機理是利用隔膜兩側兩個電池之間的電位差等于濃差電池的電勢。穩(wěn)定的氧化鉻固體電解質(zhì)傳感器已成功地應用于鋼水中氧的測定和發(fā)動機空燃比成分測量等。 為彌補固體電解質(zhì)導電的不足,近幾年來在固態(tài)電解質(zhì)上鍍一層氣敏膜,把圍周環(huán)境中存在的氣體分子數(shù)量和介質(zhì)中可移動的粒子數(shù)量聯(lián)系起來。
接觸燃燒式氣體傳感器
接觸燃燒式傳感器適用于可燃性氣H、CO、CH的檢測。可燃氣體接觸表面催化劑 Pt 、Pd 時燃燒、破熱,燃燒熱與氣體濃富有關。這類傳感器的應用面廣、體積小、結構簡單、穩(wěn)定性好,缺點是選擇性差。
電化學氣體傳感器
電化學方式的氣體傳感器常用的有兩種:
(1)恒電位電解式傳感器
是將被測氣體在特定電場下電離,由流經(jīng)的電解電流測出氣體濃度,這種傳感器靈敏度高,改變電位可選擇的檢洌氣體,對毒性氣體檢測有重要作用。
(2)原電池式氣體傳感器
在KOH電解質(zhì)溶液中,Pt —Pb或Ag —Pb 電極構成電池,已成功用于檢測O,其靈敏度高,缺點是透水逸散吸潮,電極易中毒。 光學氣體傳感器
(1)直接吸收式氣體傳感器
紅外線氣體傳感器是典型的吸收式光學氣體傳感器,是根據(jù)氣體分別具有各自固有的光譜吸收譜檢測氣體成分,非分散紅外吸收光譜對SO、CO、CO、NO等氣體具有較高的靈敏度。
另外紫外吸收、非分散紫外線吸收、相關分光、二次導數(shù)、自調(diào)制光吸收法對NO、NO、SO、烴類( CH) 等氣體具有較高的靈敏度。 (2)光反應氣體傳感器
光反應氣體傳感器是利用氣體反應產(chǎn)生色變引起光強度吸收等光學特性改變,傳感元件是理想的,但是氣體光感變化受到限制,傳感器的自由度小。
(3)氣體光學特性的新傳感器
光導纖維溫度傳感器為這種類型,在光纖頂端涂敷觸媒與氣體反應、發(fā)熱。溫度改變,導致光纖溫度改變。利用光纖測溫已達到實用化程度,檢測氣體也是成功的。
此外,利用其它物理量變化測量氣體成分的傳感器在不斷開發(fā),如聲表面波傳感器檢測SO、NO、HS、NH、H 等氣體也有較高的靈敏度。